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  • 碳化硅陶瓷吸盘

碳化硅陶瓷吸盘

应用领域
在半导体、光电产业里,常将极薄晶圆放置在碳化硅透气吸盘上,接上真空产生器,利用真空吸力使晶圆固定,Fountyl碳化硅吸盘方便对晶圆进行上蜡、减薄、除蜡、清洗及切割等制程。

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Fountyl碳化硅陶瓷吸盘的产品特性:
1.热传导性佳,以缩短上蜡与除蜡制程时间,提高生产速率、增加生产效益
2.孔径细小且分布均匀,对整片晶圆各微小局部区域可均匀吸附
3.耐酸碱腐蚀


方泰新材SIC陶瓷吸盘的优异之处:

1.各种尺寸规格,皆可客制化制作
2.拥有良好的平面度及平行度,表面平顺光滑,不会刮伤晶圆

3.质量稳定,交期迅速


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