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碳化硅陶瓷吸盘
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碳化硅陶瓷吸盘

应用领域
在半导体、光电产业里，常将极薄晶圆放置在碳化硅透气吸盘上，接上真空产生器，利用真空吸力使晶圆固定，Fountyl碳化硅吸盘方便对晶圆进行上蜡、减薄、除蜡、清洗及切割等制程。

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Fountyl碳化硅陶瓷吸盘的产品特性：
1.热传导性佳，以缩短上蜡与除蜡制程时间，提高生产速率、增加生产效益
2.孔径细小且分布均匀，对整片晶圆各微小局部区域可均匀吸附
3.耐酸碱腐蚀

方泰新材SIC陶瓷吸盘的优异之处：

1.各种尺寸规格，皆可客制化制作
2.拥有良好的平面度及平行度，表面平顺光滑，不会刮伤晶圆

3.质量稳定，交期迅速


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