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热门关键词:精密陶瓷柱塞陶瓷吸盘多孔陶瓷吸盘碳化硅陶瓷吸盘
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Ceramic chuck

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多孔吸盘(吸附工作台)是指使用于半导体制造阶段,组装在Dicing saw(划片机)或检查装置上的部件。是能够利用工作台表面的多孔质构造与负压,使薄硅片等能够保持平面的产品。Dicing saw(划片机)以20μm左右的宽幅切割硅片,所以对于晶圆吸附面的平面度平行度要求非常高,Fountyl生产的陶瓷吸盘平面度可控制在2μm

 

方泰多孔吸盘的分类:

         

1、 圆型多孔吸盘。最适合吸附硅片。可对应各种尺寸。

2、 方型多孔吸盘。最适合吸附胶片,纸张。广泛采用于加工及检查领域。                  

3、 突出型工作台。最适合吸附胶片及纸张。广泛采用于加工及检查领域。

4、 自吸型多孔吸盘。内藏电池,非常便于携带。

5、 面发光多孔吸盘。最适宜检查用。作为背照灯功能使用。

6、 加热组件。最适合热态试验,可固定,加热最大温度为250°C

 

多孔吸盘的规格:

形状:圆形、方形、圆柱形、特殊形(可制作各种形状)

本体材质:不锈钢、铝合金、氧化铝、碳化硅

多孔体材料:陶瓷、不锈钢、碳、PTFE

尺寸:圆型 (φ5㎜~φ500㎜)

     方型(□5mm~350mm

本体表面处理:氟树脂加工、耐酸铝、防锈黑色膜LD处理、无电解镀铬

多孔体材料:2μm~80μm



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