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陶瓷吸盘

方泰新材多孔吸盘的分类:

1、 圆型多孔吸盘。最适合吸附硅片。可对应各种尺寸。

2、 方型多孔吸盘。最适合吸附胶片,纸张。广泛采用于加工及检查领域。                  

3、 突出型工作台。最适合吸附胶片及纸张。广泛采用于加工及检查领域。


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多孔吸盘(吸附工作台)是指使用于半导体制造阶段,组装在Dicing saw(划片机)或检查装置上的部件。是能够利用工作台表面的多孔质构造与负压,使薄硅片等能够保持平面的产品,所以对于晶圆吸附面的平面度平行度要求非常高,Fountyl生产的陶瓷吸盘平面度可控制在3μm



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