您好,欢迎光临深圳方泰新材料技术有限公司官网!

深圳方泰新材料技术有限公司

深圳方泰新材料技术有限公司

方圆有度 安若泰山-精密陶瓷行业标杆

全国咨询服务热线

0755-27826396

深圳方泰新材料技术有限公司

热门关键词:精密陶瓷柱塞陶瓷吸盘多孔陶瓷吸盘碳化硅陶瓷吸盘
定制项目
联系方式
联系我们

联系人:张先生
电 话:0755-27826396
地 址:广东省深圳市宝安区西乡宝田一路臣田工业区18栋2楼

  • 光刻机用方镜400×300×35mm

光刻机用方镜400×300×35mm

结 构 特 点:
高度轻量化
中空结构、

高加工精度


技术指标要求:

面型0.5λ(λ=625nm)

Rms ≤ 10nm

面板厚度3mm

筋板厚度2mm

平面度≤1μm

平行度≤ 1μm

垂直度≤ 1μm


联系我们0755-27826396

碳化硅陶瓷具有优良的常温力学性能,如高强度、高硬度、高弹性模量等,优异的高温稳定性,如高导热系数、低热膨胀系数等,以及良好的比刚度和光学加工性能,特别适合用于制备光刻机等 集成电路装备用精密陶瓷结构件,如用于光刻机中的精密运动工件台、骨架、吸盘、水冷板以及精 密测量反射镜、光栅等陶瓷结构件等,方泰新材经过多年的技术攻关,解决了大尺寸、薄壁、中空等复杂结构碳化硅结构件的精密加工制备难题,突破了该类精密碳化硅结构件制备技术的技术瓶颈,极大地推进了集成电路制造装备用关键结构件的国产化。
1、碳化硅陶瓷主要包含无压烧结碳化硅(SSiC)、反应烧结碳化硅(RBSC)、化学气相沉积碳化硅(CVD-SiC)
2、碳化硅具有各种优异的性能:超硬、耐磨、 高热导率和机械强度、 低热膨胀系数、 优异的热稳定性、低密度、高比刚度、无磁性。
3、目前在航空、航天、核工业等各个行业均有碳化硅陶瓷的应用,如碳化硅陶瓷反射镜,IC集成电路制造等高端装备用陶瓷部件,极端条件下的热交换器、防弹材料等。


上一条:无上一篇  |  下一条:碳化硅基座400×400×10mm
热门标签:光刻机用方镜400×300×35mm
服务热线
0755-27826396
扫一扫,关注我们
地址:广东省深圳市宝安区西乡宝田一路臣田工业区18栋2楼
Copyrights © 2017 深圳方泰新材料技术有限公司 All Rights Reserved 备案编号:粤ICP备17033179号