什么是半导体陶瓷零部件？

半导体设备由腔室内和腔室外组成，陶瓷大部分用在离晶圆更近的腔室内。核心设备腔体内广泛使用的重要零部件陶瓷件是使用氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷、碳化硅陶瓷等先进陶瓷材料经精密加工后制造的半导体设备零部件。

深圳方泰新材料技术有限公司生产的先进陶瓷材料在强度、精度、电学性能和耐腐蚀性等方面的优异表现，能满足真空、高温等特殊环境下的半导体制造复杂性能要求。半导体设备的先进陶瓷材料零部件主要应用于腔室内，其中部分零部件直接与晶圆接触，是集成电路制造中关键的精密零部件，可以分为圆环圆筒类、气流导向类、承重固定类、手爪垫片类、模块五大类，具体详细介绍如下：

（一）圆环圆筒类

1.摩尔环：主要应用于薄膜沉积设备，位于工艺腔室内，与晶圆直接接触，起到增强气体导向、绝缘以及耐腐蚀的作用。

2.保护环：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机，位于工艺腔室内，起到保护静电卡盘、陶瓷加热器等关键模组部件的作用。

3.边缘环：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机，位于工艺腔室内，起到控制等离子体稳定不逸出的作用。

4.聚焦环：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机、离子注入设备，位于工艺腔室内，与晶圆距离<20mm，起到将腔室内等离子体聚集的作用。

5.防护罩：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机，位于工艺腔室内，起到密封并吸附工艺残留物的作用。

6.接地卡环：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机，位于腔室外，起到固定并支撑零部件的作用。

7.内衬：主要应用于刻蚀机，位于工艺腔室内，起到增强气体导向，使成膜更均匀的作用。

8.保温筒：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机、离子注入设备，位于工艺腔室内，起到提高设备控温性能的作用。

9.热电偶保护管：主要应用于各类半导体前道设备，位于腔室外，起到保护热电偶在相对稳定温度和理化环境下工作的作用。

（二） 气流导向类

1.喷嘴：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机，位于工艺腔室内，起到引导气体流向，协助工艺气体分布更均匀 ，且流速稳定，形成工艺环境的作用。

2.气流分配盘：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机，位于工艺腔室内，起到引导气体流向，协助工艺气体分布更均匀 ，且流速稳定，形成工艺环境的作用。

3.限制环：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机，位于工艺腔室内，起到引导气体流向，协助工艺气体分布更均匀 ，且流速稳定，形成工艺环境的作用。

4.扩散板：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机，位于工艺腔室内，起到引导气体流向，协助工艺气体分布更均匀 ，且流速稳定，形成工艺环境的作用。

5.喷嘴盖板：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机，位于工艺腔室内，起到喷嘴的安装依附部件，并可吸附工艺残留物的作用。

（三）承重固定类

1.晶圆载台：主要应用于薄膜沉积设备、刻蚀机，位于工艺腔室内，与晶圆直接接触，起到承载晶圆，是静电卡盘、陶瓷加热器的重要零部件之一。

2.起模顶杆：主要应用于氧化扩散设备、沉积设备，位于工艺腔室内，与晶圆直接接触，起到控制晶圆在腔室内升降的作用。

3.轴承：主要应用于各类半导体前道设备，位于腔室外，起到连接、引导设备机械运动方向的作用。

4.导轨：主要应用于各类半导体前道设备，位于腔室外，起到连接、引导设备机械运动方向的作用。

5.陶瓷螺杆：主要应用于各类半导体前道设备，位于腔室内、腔室外，起到连接固定，替代金属零部件，起到耐腐蚀、抗氧化作用的作用。

6.陶瓷帽：主要应用于各类半导体前道设备，位于腔室内、腔室外，起到连接固定，替代金属零部件，起到耐腐蚀、抗氧化作用的作用。

（四）手爪垫片类

1.机械手臂：主要应用于各类半导体前道设备，位于腔室内、腔室外，与晶圆直接接触，起到晶圆在腔室内外传送的作用。

2.绝缘件：主要应用于各类半导体前道设备，位于腔室内、腔室外，起到防止电流导通，部分亦发挥绝热功能的作用。

3.散热片：主要应用于各类半导体前道设备，位于工艺腔室内，起到设备零部件冷却的作用。

（五）模块

1.真空吸盘：主要应用于刻蚀设备，位于工艺腔室内，与晶圆直接接触，吸盘通过真空抽气吸引晶圆并保持其平整度，同时通过水路管道控温，使工艺反应效果更优的作用。

2.陶瓷加热器：主要应用于薄膜沉积设备、激光退火设备，位于工艺腔室内，与晶圆直接接触，起到承载并使晶圆获得稳定、均匀的工艺温度及成膜条件的作用。

3.静电卡盘：主要应用于刻蚀设备、部分薄膜沉积设备，位于工艺腔室内，与晶圆直接接触，起到静电吸附晶圆，使完成刻蚀、沉积等工艺反应的作用。

4.超高纯碳化硅套件：主要应用于氧化扩散设备，位于工艺腔室内，与晶圆部分直接接触，为晶圆摆放提供支架和均匀热源，在1,000℃以上高温环境下保持机械强度。

深圳方泰新材料技术有限公司，采用自主专利技术生产，技术力量雄厚，生产工艺与检测手段先进，拥有多名国内外著名先进陶瓷材料研究专家和一批经验丰富的工程技术人员。公司已掌握了冷等静压、凝胶注模、干压等成型技术，能够为广大客户订制先进陶瓷制品，并建立了行之有效的质量保证体系。主营产品：陶瓷真空吸盘、陶瓷机械手臂、陶瓷柱塞，陶瓷方梁&导轨，以及各种精密陶瓷部件；主要材质：微孔陶瓷、氧化铝陶瓷、氧化锆陶瓷、氮化硅陶瓷、碳化硅陶瓷、氮化铝陶瓷、陶瓷介质谐振器等.