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半导体搬运用陶瓷手臂高机能化、高温持久、高耐磨性陶瓷搬送手臂ARM长期在高温环境下使用不会造成损伤,同时对于被搬动体材料的磨损也降至最低,有效的控制了不纯物质的对于被搬动体的扩散,也可以根据客户要求对表面做特殊尺寸加工,使用具有高机能特性。
半导体设备芯片盘传动用陶瓷手臂,精密陶瓷零件结构强度好、耐高温、耐高压、精度好、平行度好、组织致密均匀、强度高。 长年以来一直为各半导体生产工厂所采用。 Fountyl有一群优异的工程师,在陶瓷异形加工项目上有着独特优异的技术,异形加工技术是我们公司的强项。
产品应用:
半导体制造业: 陶瓷手臂在半导体制造过程中扮演着重要角色,通常用于处理硅晶圆等高价值材料,以确保制程的精确度和稳定性。
机械加工行业: 在需要高精度加工的工艺中,陶瓷手臂可被用作刀具,以确保产品的精度和表面质量。
医疗器械: 陶瓷手臂在手术机器人和其他医疗器械中被广泛采用,其高精度和生物兼容性使其成为一个理想的选择。
化工工业: 由于其优异的耐腐蚀性,陶瓷手臂也被广泛应用于化工工业中,特别是在具有腐蚀性介质的环境下。
特点:
耐磨性: 陶瓷手臂具有优异的耐磨性,可以长时间保持稳定的表面状态。
耐腐蚀性: 陶瓷手臂可以在腐蚀性介质中工作,并保持稳定的性能。
耐高温性: 陶瓷手臂能够在高温环境中工作,不易变形或熔化,保证制程的稳定性。
高精度: 陶瓷手臂具有优异的尺寸稳定性和精密度,能够实现高精度的操作。
轻量化: 相对于金属手臂,陶瓷手臂通常具有较轻的重量,减少了机械装置的负载。
总的来说,陶瓷手臂在现代工业中扮演着重要的角色,其优异的性能保证了自动化制程的高效稳定运行。
方泰新材的服务:
根据客户需求定制提供各种精密陶瓷产品,包括半导体产业晶圆搬运陶瓷手指、制造机台用配件、托盘等;液晶、太阳能领域大型制造设备用部件;电子部件领域烧成用框架、棚板、烧成治具、基板等,材质可以选择氧化铝陶瓷或碳化硅。
陶瓷末端执行器/搬运臂安装在晶圆搬运机器人或“末端执行器”上,用于将硅晶圆运进或运出磁带或工艺室。
使用陶瓷的好处是由于高弯曲强度,耐高温,消除金属污染和颗粒而减少挠曲。
托盘做为晶圆的固定以及在8英寸,12英寸机台上处理小口径晶圆时所用的治具,精密陶瓷托盘被广泛运用。陶瓷托盘的材质主要有氧化铝99.6,碳化硅,也可根据客户需要,使用环境来设计可开发各式产品和素材。
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