碳化硅陶瓷不仅具有优良的常温力学性能，如较高的抗弯强度、优良的抗氧化性、良好的耐腐性、高的抗磨损以及低的摩擦系数，

而且高温力学性能(强度、抗蠕变性等)是已知陶瓷材料中上佳的。碳化硅具有耐腐蚀、耐高温、强度大、导热性能良好、抗冲击等特性，

可满足以光刻机为代表的集成电路制造关键装备用大尺寸、中空薄壁、复杂结构、精密碳化硅结构件制备的技术，

例如：碳化硅真空吸盘、导轨、反射镜、横梁、工件台等一系列光刻机用精密碳化硅结构件。

用途：

超精密运动平台、越精密检测设备

客制化产品，可以按样品或图纸生产。

服务：

最长尺寸：1500mm

结构定制：轻量化结构，可以设计减重结构

高精度：平面度可控制在5微米以内，甚至更高精度。