半导体设备国产化突围战：国产半导体设备的崛起之路

1.半导体设备是芯片制造的“母机”，直接决定芯片性能与产能。2022年全球半导体设备市场规模达1076亿美元，中国大陆以283亿美元成为全球最大市场，但国产化率仅约15%-20%。

　　核心设备国产化率分布

　　光刻机：<1%

　　量测设备：<5%

　　离子注入设备：<10%

　　薄膜沉积设备：<20%

　　刻蚀设备：>30%

　　清洗设备：>30%

　　2.半导体设备中90%成本来自零部件，但高端零部件国产化率普遍低于10%：

　　真空阀门

　　日本SMC、瑞士VAT垄断，国产化率<1%

　　射频电源

　　美国MKS、AE垄断全球87%份额

　　静电吸盘

　　日本京瓷、美国AMAT垄断，国产化率<1%

　　国产突破：

　　英杰电气

　　射频电源获中微公司认证，2023年订单超9000万元

　　新莱应材

　　高纯气体管路系统进入长江存储供应链

　　3.薄膜沉积设备占晶圆厂设备投资的25%，2022年全球市场规模172亿美元：

　　技术路线

　　PECVD(等离子体增强)：占比34%

　　ALD(原子层沉积)：先进制程核心

　　国产进展拓荆科技

　　PECVD设备打入中芯国际14nm产线，2022年营收17亿元

　　北方华创

　　PVD设备在长江存储份额超20%

　　中微公司

　　MOCVD设备全球市占率超60%

　　4.量检测设备占设备投资的11%，2022年全球市场规模104亿美元：

　　明/暗场检测

　　明场检测：用于图形晶圆，精度要求高

　　暗场检测：用于无图形晶圆，速度快

　　国产突破中科飞测

　　无图形检测设备国内市占率超70%

　　上海精测

　　明场检测设备获长江存储订单

　　睿励仪器

　　膜厚量测设备进入中芯国际产线

　　5.CMP设备占设备投资的4%，2022年全球市场规模18亿美元：

　　技术壁垒

　　纳米级平整度控制(相当于天安门广场起伏<0.03mm)

　　国产突破华海清科

　　12英寸CMP设备市占率25%，2022年营收16亿元

　　烁科中科信

　　8英寸CMP设备进入华虹供应链

　　6.离子注入机占设备投资的3%，2022年全球市场规模18亿美元：

　　技术分类

　　中低束流：占比60%

　　高能离子：占比18%

　　国产突破万业企业（凯世通）

　　低能大束流设备获长鑫存储订单

　　中科信

　　中束流设备进入中芯国际产线

　　7.1）平台型龙头

　　北方华创

　　覆盖刻蚀、PVD、CVD等7大类设备，2022年半导体设备收入130亿元

　　中微公司

　　CCP刻蚀设备打入台积电5nm产线

　　2）细分赛道冠军

　　拓荆科技

　　PECVD设备国内市占率32%

　　华海清科

　　CMP设备国内市占率25%

　　盛美上海

　　清洗设备国内市占率23%

　　8.成熟制程

　　55-28nm产线国产设备覆盖率已达50%

　　先进封装

　　华为“芯片堆叠”专利推动封装设备需求

　　零部件配套

　　射频电源、真空阀门等加速替代

　　“半导体设备的国产化不是选择题，而是生存题。”

　　——中微公司董事长尹志尧

　　9.陶瓷真空卡盘

　　深圳方泰新材料技术有限公司

　　2寸-14寸 陶瓷真空卡盘，国内市占率19%