陶瓷手臂末端执行器怎么控制颗粒污染?晶圆搬运洁净设计要点
陶瓷手臂末端执行器直接接触晶圆,表面颗粒、崩边和微裂纹都可能造成污染或划伤。方泰新材料解析陶瓷手指的材料选择、边缘处理、真空气路、清洗和装配控制,帮助晶圆搬运系统降低颗粒风险。
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