首页多孔质、沟槽式、凸点式陶瓷真空吸盘怎么选？
陶瓷真空吸盘并非一种结构通用所有工况。多孔质强调全表面均匀吸附，沟槽式便于快速建立真空，凸点式可降低接触面积。方泰新材料支持氧化铝、碳化硅等材料及孔径、孔隙率、平面度定制。
了解更多 >
立即咨询
新闻资讯
Manufacturing Process
静电卡盘是怎么吸住晶圆的？为什么晶圆背面要通入氦气？
静电卡盘通过静电库仑力吸附晶圆，并在晶圆背面通入高导热、化学惰性的氦气，再结合冷却液循环实现精密温控。方泰新材料可提供陶瓷静电吸盘及氧化铝、氮化铝等ESC陶瓷基板定制，助力半导体核心陶瓷部件国产替代。
了解更多 >
半导体陶瓷零部件怎么定制？精密陶瓷选材与加工常见问答
半导体设备对陶瓷零部件的材质、尺寸精度与洁净度要求严苛。方泰新材料提供氧化铝、碳化硅、氮化硅、氮化铝等多材质陶瓷零部件定制，支持来图评审、精密加工与样品测试，并覆盖真空吸盘、机械手臂、方梁导轨等产品线。
了解更多 >
陶瓷加热器与静电吸盘的协同温控方案
在CVD和刻蚀工艺中，静电吸盘负责固定晶圆，陶瓷加热器负责温度控制，两者的协同配合是实现晶圆精密温控的关键。深圳方泰新材料为您解析静电吸盘与陶瓷加热器的集成方案和选型要点，帮助设备工程师设计高效的晶圆温控系统。
了解更多 >
陶瓷气浮平台在晶圆传输与定位系统中的应用
陶瓷气浮平台在晶圆传输和定位系统中提供无摩擦、无颗粒、高精度的运动基础。相比滚珠导轨和直线电机平台，气浮平台在洁净度、精度保持和长寿命方面优势明显。深圳方泰新材料可定制陶瓷气浮平台和气浮导轨组件。
了解更多 >
一对一快速响应
请联系我们
获取报价 | 技术方案 | 样品测试