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多孔陶瓷气浮平台
因应TFT-LCD日益升高的市场需求,玻璃基板的尺寸亦逐渐加大以提高生产效率,其衍生出来的技术性问题如储存或搬运,亦成为厂商的一大挑战。Fountyl陶瓷真空吸附平台将成为TFT-LCD大尺寸玻璃基板搬运移载系统的主流。
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