针式卡盘（也称：凸点吸盘），是半导体行业常用的工业吸盘，具有抗高温、抗腐蚀、耐磨损等特点。它通常由碳化硅或氧化铝陶瓷材料制成，表面有凸起的点状结构，用于提供更好的吸附力和稳定性。

凸点吸盘广泛应用于自动化生产线，用于吸取、固定、传送和搬运硅片、晶圆和各类工件和物料。

特点：

耐高温：碳化硅和氧化铝陶瓷材料具有优秀的高温性能，可在高温环境下长时间使用，不易变形或破裂。

抗腐蚀：能够耐受各种化学腐蚀，适用于处理腐蚀性液体或气体的工作环境。

耐磨损：硬度高，具有很好的抗磨损性能，可长时间使用而不失效。

吸附力强：凸点结构使吸盘接触面积减小，从而增加了单位面积上的吸附力，能更牢固地吸附工件。

稳定性高：由于材料的特性，凸点吸盘具有较高的稳定性，能够长时间稳定地工作。

减少污染：陶瓷晶圆卡盘正在从凹槽发展到引脚，以缩小接触面积，减少部分污染并改善翘曲矫正。