先进陶瓷材料在半导体设备中的未来发展趋势
随着芯片制程推进到3纳米以下,半导体设备对陶瓷零部件的性能要求持续提高——更高纯度、更大尺寸、更复杂结构、更低颗粒产生率。深圳方泰新材料认为,静电卡盘、多孔陶瓷和复合结构将是未来增长最快的三个方向。
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随着芯片制程推进到3纳米以下,半导体设备对陶瓷零部件的性能要求持续提高——更高纯度、更大尺寸、更复杂结构、更低颗粒产生率。深圳方泰新材料认为,静电卡盘、多孔陶瓷和复合结构将是未来增长最快的三个方向。
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PVD(物理气相沉积)设备在真空和高温下运行,内部陶瓷部件需要同时满足耐高温、绝缘、低放气和耐腐蚀等要求。深圳方泰新材料为您解析PVD设备中陶瓷靶材背板、绝缘环、屏蔽罩等核心部件的选型要点。
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半导体先进封装技术向2.5D和3D方向演进,对封装基板的平整度、导热性和热匹配性提出了更高要求。陶瓷基板在这些方面相比有机基板有显著优势,在高端封装中的应用正在快速扩展。
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半导体晶圆传输系统中常见的陶瓷机械手臂分为真空机械手臂、大气机械手臂和末端执行器三大类,各自对应不同的工作环境和传输需求。深圳方泰新材料可提供全系列陶瓷机械手臂的定制化解决方案。
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陶瓷零件和金属零件的设计逻辑完全不同——直接套用金属件的设计思路,很可能做出加工不出来或者用不长久的产品。深圳方泰新材料结合14年制造经验,总结陶瓷零件设计中最常见的几大误区,帮助设备工程师少走弯路。
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