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气浮平台的工作原理是什么?
发布时间:2024-08-01 点击量:1102
浮平台的工作原理是什么?
气浮平台有两种:气浮直线平台和气浮(旋转)转台。浮动平台的核心原理是由空气轴承和电控元件组成的精密位移平台。基于空气轴承原理,承载板浮动在气浮导轨或气浮轴承上,实现无摩擦、无振动的平稳运动。
气浮平台气浮直线导轨的常见形式有:
1.重力平衡气浮导轨;
2.封闭式气浮导轨;
3.永磁预紧气浮导轨;
4.真空吸附气浮导轨。
常见的气浮孔结构有:
1.孔板节流结构;
2.多孔结构。
气浮平台的高直线度和平整度取决于气浮导轨,气浮导轨由铝合金、大理石、碳化硅陶瓷等制成。对其高压气膜压力分布、气源压力、节流阀、均压槽深度进行了研究,找到了气膜刚度合理的参数区间,具有良好的性能精度。300mm行程的直线度和平整度误差在1μm以内,气浮平台的承载能力也非常优秀,逐渐得到了市场上大家的认可。
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