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碳化硅陶瓷吸盘SiC chuck的应用及特点
发布时间：2024-08-01 点击量:1023
碳化硅透气吸盘应用领域
在半导体、光电产业里，常将极薄品圆放置在碳化硅透气吸盘上，接上真空产生器，利用真空吸力使品圆固定，方便对晶圆进行上蜡、减薄、除蜡、清洗及切割等制程
碳化硅透气吸盘产品需求特性
1,热传导性佳，以缩短上蜡与除蜡制程时间，提高生产速率、增加生产效益2.孔径细小且分布均匀，对整片品圆各微小局部区域可均匀吸附3.酸碱腐蚀
钧杰优异之处
1.各种尺寸规格，毕可客制化制作
2.拥有良好的平面度及平行度，表面平顺光滑，不会刮伤品圆
3.质量稳定，交期迅速
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