陶瓷机械手又称陶瓷手指、陶瓷手臂、末端执行器等，(陶瓷机械手)构成机械臂的末端，用于在不同位置之间操作和移动半导体晶片。它基本上是机器人的手，所以它的热稳定性和尺寸稳定性很重要，并且不会用颗粒或化学污染物污染腔室。

　　陶瓷手指

　　陶瓷臂用于在半导体工艺的整个生产过程中操纵和携带硅片。它可以处理大尺寸的晶圆，并且可以设计真空通道来固定零件。

　　在机器人技术中，末端执行器是一种连接到机器人手臂末端的设备或工具，手将在该末端。末端执行器是机器人与环境交互的部分。末端执行器的结构以及驱动它的编程和硬件的性质取决于机器人将执行的任务。如果机器人需要拿起东西，一种称为抓手的机器人手是最有效的末端执行器。

　　陶瓷手臂

　　陶瓷机械手臂的优点

　　1.机械陶瓷手臂是接取特殊产品要求耐磨，耐高温，防静电，耐磨损;

　　2.陶瓷轻巧和不易磨损，优于金属，而为首先材质;

　　3.陶瓷属性绝缘、绝磁、耐高温、耐磨损等特性，是现用于取玻璃晶体等较为理想的材料;

　　4.发展新趋势变小，变精准，内置空心环用于抽真气而传递拿取产品;

　　5.发展为前端加软胶垫，与真空相通，抽真空即能当手臂使用不伤